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    TiCl_4-O_2-H_2O体系化学气相淀积TiO_2超细粒子

    Preparation of Ultrafine TiO_2 Particles with TICl_4-O_2-H_2O by Chemical Vapor Deposition

      摘要
    • 摘要: 研究了反应参数对TiO_2超细粒子化学成分、平均粒径、粒径分布、粒子形貌和结构等的影响规律。结果表明:粒径随着TiCl_4分压的降低、氧气分压和反应温度的升高而减小;随着水分压的变化,粒径存在一最小值。合成的TiO_2粒子呈锐钛型,经950℃热处理后转变为金红石。

       

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