摘要: 本文提供了四极质谱计ATLAS-AMP 3对六种气体:N_2、Ar、H_2、O_2、CH_4和H_2O的测量特性的校准数据。在校准过程中,气体分压强的测量,采用以电容薄膜规为标准规来校准BA型电离规,并由BA规来测量。实验结果表明:在高的次级电子倍增电压下,各种气体的质谱碎片峰信号与主峰信号比值才趋于常数;气体分压强与主峰输出信号的比值随次级电子倍增电压增大而急剧减少。