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    化学气相淀积过程中钛酸丁酯热解反应机理及动力学

    Mechanism and Kinetics of Ti(OC-4H_9)_4 Pyrolysis in Chemical Vapor Deposition Reactor

      摘要
    • 摘要: 利用热解-色质联用分析系统,对文题进行了研究,发现其热解过程是一个复杂的多元反应过程。在500～800℃,钛酸丁酯(Ⅰ)热解尾气产物主要是烯烃、醇、醚和醛类化合物。经热解机理分析,发现Ⅰ的重排断裂反应是整个热解过程的主反应,其反应动力学常数为3.87×10~5,活化能为69.3 kJ/

       

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