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  • ISSN 1006-3080
  • CN 31-1691/TQ

Hg1—xCdxTe液相外延薄膜的貌相分析

朱基千 李标

朱基千, 李标. Hg1—xCdxTe液相外延薄膜的貌相分析[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1997, (1): 68-72.
引用本文: 朱基千, 李标. Hg1—xCdxTe液相外延薄膜的貌相分析[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1997, (1): 68-72.
Investigation of the Morphology of Hg 1- x Cd x Te Liquid Phase Epitaxial Films[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1997, (1): 68-72.
Citation: Investigation of the Morphology of Hg 1- x Cd x Te Liquid Phase Epitaxial Films[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1997, (1): 68-72.

Hg1—xCdxTe液相外延薄膜的貌相分析

基金项目: 

863重点攻关课题资助项目

Investigation of the Morphology of Hg 1- x Cd x Te Liquid Phase Epitaxial Films

  • 摘要: 用扫描电子显微镜、能量散射X-射线分析及金相显微镜等方法,研究了Hg1-xCdxTe液相外延薄膜的表面形貌与衬底沾污等的关系,以及外延层夹杂和晶界存在的影响。结果表明,衬底沾污及晶界的存在会使外延薄膜的貌相变差;生长前衬底表面覆盖可以减轻其表面沾污,用适当的回熔LPE工艺,可以改进外延层表面形貌及质量

     

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