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  • ISSN 1006-3080
  • CN 31-1691/TQ

SiO2化学机械抛光浆料的制备与性能研究

王相田 刘伟

王相田, 刘伟. SiO2化学机械抛光浆料的制备与性能研究[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1998, (6): 681-685.
引用本文: 王相田, 刘伟. SiO2化学机械抛光浆料的制备与性能研究[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1998, (6): 681-685.
Preparation of SiO 2 CMP Slurry and Its Properties[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1998, (6): 681-685.
Citation: Preparation of SiO 2 CMP Slurry and Its Properties[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1998, (6): 681-685.

SiO2化学机械抛光浆料的制备与性能研究

基金项目: 

国家自然科学基金

Preparation of SiO 2 CMP Slurry and Its Properties

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