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  • ISSN 1006-3080
  • CN 31-1691/TQ

表面微加工MEMS三维模型的局部变动

凌浩 李建华 刘玉生 郭卫斌 何高奇

凌浩, 李建华, 刘玉生, 郭卫斌, 何高奇. 表面微加工MEMS三维模型的局部变动[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 2011, (4): 474-482.
引用本文: 凌浩, 李建华, 刘玉生, 郭卫斌, 何高奇. 表面微加工MEMS三维模型的局部变动[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 2011, (4): 474-482.
LING Hao, LI Jian-hua, LIU Yu-sheng, GUO Wei-bin, HE Gao-qi. Local Variation for 3D Geometric Model of Surface Micromachined MEMS Devices[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 2011, (4): 474-482.
Citation: LING Hao, LI Jian-hua, LIU Yu-sheng, GUO Wei-bin, HE Gao-qi. Local Variation for 3D Geometric Model of Surface Micromachined MEMS Devices[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 2011, (4): 474-482.

表面微加工MEMS三维模型的局部变动

基金项目: 

国家自然科学基金(60703026);上海市自然科学基金项目(10ZR1408200)

Local Variation for 3D Geometric Model of Surface Micromachined MEMS Devices

  • 摘要: 现有的微机电系统(MEMS)设计中缺乏面向优化的MEMS器件变动方法。针对表面微加工MEMS,在可制造性分析的基础上提出了表面微加工MEMS三维模型的局部变动方法。该方法首先在表面微加工MEMS三维模型上选定设计关注面,设计人员对所选定的设计关注面进行变动操作;变动设计后根据变动类型基于可制造性分析自动映射和传播变动到表面微加工MEMS三维模型;在三维模型更新后,通过传播定位了该变动操作所要修改的掩模,更新该掩模文件,实现工艺模型和几何模型的一致性。实例测试结果表明:该方法能够有效地实现三维模型的局部变动,从而提高了MEMS设计人员的效率。

     

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出版历程
  • 收稿日期:  2010-12-13

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