高级检索

    姚光辉, 周瑞明, 韩杰, 陈敏恒. SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 1990, (3).
    引用本文: 姚光辉, 周瑞明, 韩杰, 陈敏恒. SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 1990, (3).
    shu

    SnO_2薄膜的化学气相淀积 Ⅱ.SnO_2薄膜的结构和气敏性能

      摘要
    • 摘要: 研究了用化学气相淀积方法制备的SnO_2薄膜的组成。晶体结构和气敏性能。发现薄膜为多晶结构,在薄膜生长过程中,(200)、(110)晶面择优生长;薄膜对H_2的气敏灵敏度随温度的升高而增加,并存在一合适的工作温度范围:100～250℃。

       

      • HTML全文
      • 参考文献(0)
      • 相关文章
      • 施引文献
    • 资源附件(0)

    /

    返回文章
    返回