摘要: 载玻片在金属醇化物的溶胶中浸涂、热处理，获得厚度为５０～９０ｎｍ的ＴｉＯ２和ＸＡｌ２Ｏ３－ＹＴｉＯ２－ＺＳｉＯ２涂膜（Ｘ＝０～３０，Ｙ＝０．２５～０．６０，Ｚ＝０．２０～０．６５，摩尔分数）。使用原子力显微镜（ＡＦＭ）研究涂膜表面纳米范围的形貌。研讨了化学组成，热处理温度与时间，以及热处理前或后的贮存史对表面形貌，ｒｍｓ－均方根粗糙度和锐钛矿结晶的影响。