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丁平, 杨玉晶. 强自然对流流体的有限元解法:用于化学气相相淀积反应器[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1994, (4): 444-451.
引用本文:
丁平, 杨玉晶. 强自然对流流体的有限元解法:用于化学气相相淀积反应器[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1994, (4): 444-451.
强自然对流流体的有限元解法:用于化学气相相淀积反应器
丁平
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以冷壁化学气相淀积(CVD)反应器中淀积TiN涂层为对象,对立了适用于强自然对流流体的CVD反应器模型。模型中包括流动、传热、传质和化学反应,计入了温度对物性参数的影响。通过编制求解该复杂模型的有限元程度,计算反应器中流型、温度及浓度的分布。定量计算了TiN的淀积速率,计算值与实验值基本一致。该模型与程序不仅适用于本文所描述的淀积TiN系统,也可以成为各种外延反应器和金属有机化学气相淀积反应器中计
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