空间分辨光谱测量研究准分子激光对Al表面的烧蚀
Spatial-Resolved Spectral Measurements Study on Excimer Laser Ablation of Al Surface
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摘要: 采用空间分辩光谱测量技术,研究了308nm紫外激光烧蚀A1表面发射粒子的动力学过程。通过测量溅射粒子发射光谱中A1(Ⅰ)396.1和A1(Ⅱ)281.7nm线强度的空间分布,以及激光能量密度和不同烧蚀环境压力对它们的发射强度空间分布的影响,讨论了紫外308nm激光溅射A1表面发射粒子的微观过程。认为A1原子和A1离子的激发机理不完全相同,它们除被等离子体中的高能电子碰撞激发外,A1离子和电子的复合,也是引起A1原子激发的一个重要通道。