纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究

杜明贵; 陆慧; 周康夫; 邵志翔; 潘孝仁

杜明贵, 陆慧, 周康夫, 邵志翔, 潘孝仁. 纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 2008, (3): 457-460.

引用本文:

杜明贵, 陆慧, 周康夫, 邵志翔, 潘孝仁. 纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 2008, (3): 457-460.

DU Ming-gui, LU Hui, ZHOU Kang-fu, SHAO Zhi-xiang, PAN Xiao-ren. Gas Sensitivity Mechanism of Nanometer Particle ZnO Thin Films[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 2008, (3): 457-460.

Citation:

DU Ming-gui, LU Hui, ZHOU Kang-fu, SHAO Zhi-xiang, PAN Xiao-ren. Gas Sensitivity Mechanism of Nanometer Particle ZnO Thin Films[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 2008, (3): 457-460.

纳米颗粒ZnO薄膜气敏机理研究

Gas Sensitivity Mechanism of Nanometer Particle ZnO Thin Films

摘要

摘要: 采用气体放电活化反应蒸发沉积(GDARE)法低温生长纳米颗粒ZnO薄膜.在不同温度下测试其对乙醇的灵敏度,结果表明:285℃附近纳米颗粒ZnO薄膜的灵敏度最高,为9.76,并且其最佳工作温度区间较窄.通过对ZnO薄膜的AFM表面形貌分析、SEM剖面分析和光学透射谱测试,可推测薄膜具有多孔性柱状晶表面结构,结合ZnO薄膜通入乙醇前后的阻抗谱测试结果,从晶粒晶界效应上对纳米颗粒ZnO薄膜的气敏机理进行了讨论.

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