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杨青, 任忠民. 用离子团簇束及反应离子团簇束技术沉积Zn及ZmO薄膜[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1994, (1): 75-79.
引用本文:
杨青, 任忠民. 用离子团簇束及反应离子团簇束技术沉积Zn及ZmO薄膜[J]. 华东理工大学学报(自然科学版), 1994, (1): 75-79.
用离子团簇束及反应离子团簇束技术沉积Zn及ZmO薄膜
杨青
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任忠民
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用文题所述技术,在玻璃基板上制出了Zn及ZnO薄膜。用SEM、XRD、AES及SEELFS方法,分别研究了其表面形貌、组成、薄膜结构及表面精细结构,同时探讨了薄膜生长过程。结果表明:Zn薄膜为(002)面上择优生长的多晶膜,其生长过程为岛状生长;ZnO薄膜为无定形迷津网络结构,薄膜表面主要含有Zn、O两种组分,无其它杂质,Zn-O键长为0.203nm。
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