摘要: 采用直流气人本放电活化反应蒸发沉积法，通过二次蒸镀、制备了以氧化锌为衬底的ＳｎＯ２－ＺｎＯ复合型功能气敏薄膜，讨论制备工艺对该薄膜微观结构的影响，并提供了宏观性质和微观机理分析结果。