Pb_(1-x)Ca_xTiO_3铁电薄膜的制备
The Preparation of Ferroelectric Pb_(1-x)Ca_xTiO_3 Thin Film
-
摘要: 合成了稳定性良好的用于溶胶-凝胶法制备Pb_(1-x)Ca_xTiO_3(x=0.1~0.3)薄膜的涂液。研究了不同掺Ca量对薄膜晶相结构和相变温度的影响。用旋涂法在(100)MgO单晶衬底材料上生长出均匀、无缺陷的钙铁矿结构(100)择优取向的Pb(Ca)TiO_3薄膜,取向率大于95%。测定了在(111)Si单晶衬底材料上得到的Pb(Ca)TiO_3陶瓷薄膜的电学性质。