微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒

胡宏晨; 胡黎明

胡宏晨, 胡黎明. 微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 1994, (2): 141-144.

引用本文:

胡宏晨, 胡黎明. 微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 1994, (2): 141-144.

Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1994, (2): 141-144.

Citation:

Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1994, (2): 141-144.

微波等离子体化学气相沉积合成TiN超细颗粒

Synthesis of TiN Ultrafine Particle via Microwave Plasma Chemical Vapour Deposition

摘要

摘要: 热力学计算表明，Ｈ２，Ｎ２的过量有助于提高ＴｉＮ的产率，但能耗也相应增加。为此考察了温度，流量，ＴｉＣｌ４携带量，混合方式对产物性能的影响。结果表明，流量增加，温度升高，ＴｉＣｌ４携带量增加，混合愈好，则产物粒径愈小。在此基础上采用微波等离子体化学气相沉积法，合成了粒径为１２３－２８４ｎｍ的ＴｉＮ超细颗粒

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