Al-Cl-N-H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究

李春忠, 胡黎明, 姚光辉, 袁渭康, 陈敏恒. Al-Cl-N-H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 1992, (4).

引用本文:

李春忠, 胡黎明, 姚光辉, 袁渭康, 陈敏恒. Al-Cl-N-H体系化学气相淀积AIN粉末的热力学研究[J]. 华东理工大学学报（自然科学版）, 1992, (4).

Thermodynamic Study of AlN Powder Synthesis by CVD of Al-Cl-N-H System[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1992, (4).

Citation:

Thermodynamic Study of AlN Powder Synthesis by CVD of Al-Cl-N-H System[J]. Journal of East China University of Science and Technology, 1992, (4).

Thermodynamic Study of AlN Powder Synthesis by CVD of Al-Cl-N-H System

摘要: 给出了Al-Cl-N-H体系的一组关联反应,探讨了化学气相淀积过程的关联反应热力学特性。根据Gibbs自由焓最小的原则,研究了Al-Cl-N-H体系的平衡组成。Al-Cl-N-H体系合成AlN超细粒子粉末的最佳温度为600～1200℃,AlN平衡得率和体系的初始组成有关,AlCl_2和AlCl的平衡得率随温度的升高而增大。

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